四探針雙電測(cè)厚度高電阻測(cè)試儀 FTZ-45ST

儀器由測(cè)試臺(tái)、四探針頭、電腦、軟件等組成。
四探針電阻測(cè)試儀有常規(guī)電阻量程用于測(cè)量薄片、膜類、塊狀、棒類等材料的電導(dǎo)率、電阻率、方塊電阻、薄膜厚度等參數(shù)，如玻璃或陶瓷上導(dǎo)電薄膜（ITO）厚度或方塊電阻、硅片和半導(dǎo)體電阻率，薄片金屬、導(dǎo)電橡膠和防靜電材料電導(dǎo)率等。也有高電阻量程、雙電測(cè)方式、帶厚度感應(yīng)器等不同組合的電阻測(cè)試儀，可據(jù)需要選用適合款式。四探針測(cè)量方式的優(yōu)點(diǎn)是消除了探針和樣品接觸電阻的影響。
厚度參數(shù)有通過(guò)已知材料的電阻率，通過(guò)方阻算出導(dǎo)電膜厚度，適合純凈材料的測(cè)試。也可直接通過(guò)亞微米級(jí)精度的厚度感應(yīng)器在測(cè)電阻的同時(shí)測(cè)量出膜類材料的厚度，確保厚度和電阻測(cè)量在樣品同一位置，特別適合不均勻膜類和片類材料的測(cè)量。同時(shí)，半自動(dòng)的厚度測(cè)量和記錄避免了人為誤差，能獲得更高的精度，也滿足了實(shí)驗(yàn)室智能化、數(shù)據(jù)化的發(fā)展方向。這功能為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)。
運(yùn)用直線或方形四探針，按改進(jìn)性范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器，符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》，并參考美國(guó) ASTM 標(biāo)準(zhǔn)?？蓽y(cè)材料的電阻率、方阻及對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度，也可測(cè)元器件的接觸電阻。