自動(dòng)膜片電阻測(cè)試儀 FTZ-45A

可測(cè)樣品尺寸φ300x10
四探針法測(cè)試
可自動(dòng)導(dǎo)航
帶X-Y-Z移動(dòng)機(jī)構(gòu)
可測(cè)膜片的方塊電阻或金屬膜厚度，并輸出方阻或電阻率分布
檢測(cè)速度：2點(diǎn)/s
最大點(diǎn)數(shù)20000點(diǎn)
位置精度：0.005mm
可測(cè)硅片、導(dǎo)電膜方阻等。